【PVD & CVD-DLC金刚石涂层组成】涓微新材

2022-07-13 09:55

澳门威利斯人官方网站是非晶的(即并没有占首要地位的晶体结构构造),由sp2和sp3相的混合物质构成。

DLC膜对钢的摩擦阻力一般在0.05-0.20中间,而膜强度和sp3含量能够依据实际使用而定制。

膜功能的操纵明显地取决于所挑选的堆积技术性(PVD磁控溅射或挥发和Pa-CVD)的通量特点、膜里的金属和氢含量、sp2:sp3比、衬底偏置工作电压、正离子动能和正离子相对密度及其衬底温度。

含金属和氢的DLC(Me-DLC或a-C:H:Me)在500-2000HV范围之内具备35%sp3的强度,无金属DLC(C-DLC或a-C:H)一般为1500-4000HV和高达75%sp3,而四面体非晶碳(ta-C)在4000-9000HV范围之内具备80-85%sp3。